直拉单晶上排气热场与下排气热场分析 直拉单晶上排气热场与下排气热场分析

直拉单晶上排气热场与下排气热场分析

  • 期刊名字:科学导报
  • 文件大小:
  • 论文作者:连文翠
  • 作者单位:东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司
  • 更新时间:2022-10-18
  • 下载次数:
论文简介

单晶硅发展前景;单晶硅生产方法简介;单晶硅生产工艺流程;单晶炉热场介绍;上排气热场和下排气热场分析;结束语。

论文截图
版权:如无特殊注明,文章转载自网络,侵权请联系cnmhg168#163.com删除!文件均为网友上传,仅供研究和学习使用,务必24小时内删除。