GB/T 41074-2021微束分析 用于波谱和能谱分析的粉末试样制备方法Microbeam analysis—Method of specimen preparation for analysis of general powders using WDS and EDS

本文件规定了使用安装在电子探针(EPMA)或扫描电镜(SEM)上的能谱仪(EDS)或波谱仪(WDS)分析粉末中的颗粒时的试样制备方法。根据分析目的和颗粒尺寸,对粉末颗粒试样的制备方法进行了分类。本文件适用于粒径范围在100nm~100μm的无机物颗粒。本文件不适用于一些特殊应用,如法医分析或痕量分析。