YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用 YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用

YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用

  • 标准类别:[YS] 有色冶金行业标准
  • 标准大小:
  • 标准编号:YS/T987-2021
  • 标准状态:现行
  • 更新时间:2023-03-01
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标准简介

本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。 本文件适用于氯硅烷中碳杂质(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷,统称甲基氯硅烷)含量的测定,测定范围 (质量分数)为 0.000 010%~0.10%。 替代YS/T 987-2014

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