T/EBA 43004-2023 飞安（fA）级电容式微电流表校准规范

本规范规定了飞安（fA）级电容式微电流表的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。 本规范适用于量程范围在10fA～1pA，分辨力≥1fA，采用电容-电压法原理的电容式微电流表的校准。