GB/T 2900.104-2021 电工术语 微机电装置 Electrotechnical terminology-Micro-electromechanical devices 

本文件界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量技术和应用相关术语。
本文件适用于微机电技术领域。T 2900.104-2021/IEC 60050-523:2018 电工术语微机电装置 Electrotechnical terminology-Micro-electromechanical devices U EC 60050-523:2018, International electrotechnical vocabulary- 　 　 　 　 　 Part 523: Micro-eletromechanical devices, IDT) 2021-10-11发 布 2022-05-01实 施 翅 臆 艨 鞲 艘 髂 ‘ “ 刮 ‘ ＃ ‘ 愿 0厂 伪 GB/T 2900.104-2021/IEC 60050-523:2018 刖 舀 　　本文件按照GB/T 1.1-2020《 标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则 》 的规定 起草 。 　　本文件是GB/T 2900《 电工术语 》 的第104部分 。 GB/T 290