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GB/T 23611-2023 金及金合金靶材

标准简介

本文件规定了金及金合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材。替代GB/T 23611-2009

标准截图

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