SJ 21320-2018 微组装湿法清洗设备工艺验证方法 Technological verification methods for wet cleaning system used in micro-assembly industry

本标准规定了微组装湿法清洗设备的一般要求、验证条件和验证方法等内容。
本标准适用于微组装水基清洗、溶剂清洗等手动、半自动和全自动湿法清洗设备工艺性能的验证。y industry 2018-01-18发 布 2018-05-01实 施 ＠ 「 ‘ 「 「 “ ” 「 「 「 ‘ “ SJ 21320-2018 刖 言 本 标 准 的 附 录A为 资 料 性 附 录 。 本 标 准 由 中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 提 出 。 本 标 准 由 工 业 和 信 息 化 部 电 子 第 四 研 究 院 归 口 。 本标准起草单位中国电子犁梦集睡煎髯琊 本 标 准 主 要 起 草 人 ：谢 振 民 爪 玉 ＞ 日 瓢c晁 宇 晴 喇 剡 SJ 21320-2018 微组装湿法清洗设备工艺验证方法 范围 本 标 准 规 定 了 微 组 装 湿 法 清 洗 设 备 的 一 般 要 求 、 验 证 条 件 和 验 证 方 法 等 内 容 。 本 标 准 适 用 于 微 组 装 水 基 清 洗 、 溶 膏 琳 青 洗 等 手 动