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SJ 21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范 General specification for ion beam film sputtering eauipment SJ 21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范 General specification for ion beam film sputtering eauipment

SJ 21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范 General specification for ion beam film sputtering eauipment

  • 标准类别：[SJ] 电子行业标准
  • 标准大小：
  • 标准编号：SJ 21257-2018
  • 标准状态：现行
  • 更新时间：2023-10-30
  • 下载次数：次
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标准简介

本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备。
本规范适用于离子束溅射镀膜设备（以下简称设备）的设计、生产、检验和验收。

标准截图
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