SJ 21477-2018 磷化铟多晶材料合成工艺技术要求 Technical requirements for InP poly crystal synthesis process

本标准规定了军用磷化铟多晶材料合成工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及磷化铟多晶材料合成工艺的典型工艺流程、各工序技术要求、检验要求等详细要求。
本标准适用于磷化铟多晶材料注入合成及水平合成工艺。 SJ 21477-2018 磷化铟多晶材料合成工艺技术要求 Technical requirements for InP poly crystal synthesis process 2018-12-29发 布 2019-03-01实 施 。 ’ ‘ 「 「 “ ” 「 “ 「 ‘ “ SJ 21477-2018 月 叨 言 本标准的附录A为资料性附录 。 本标准由中国电子科技集团有限公司提出 。 本标准由工业和信息化部电子第四研究院归口 。 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 。 本 标 准 主 要 起 草 人 ： 李 晓 岚 、 王 阳 、 孙 聂 姻 一 剑 辜 ： 主 、 李 丽 霞 、 邵 会 民 、 付 莉 杰 、 王 书 杰 、 史 艳 磊 、 张晓丹 、 姜剑 SJ 21477-2018 磷化铟多晶材料合成工艺技术要求 范 围 本标准规