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GB/T 29057-2023 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
本文件规定了多晶硅棒取样、将样品区熔拉制成单晶以及通过低温红外光谱法或光致发光光谱法对拉制好的单晶硅棒进行分析以确定多晶硅中施主、受主、代位碳和间隙氧杂质含量等的规程。
本文件适用于评价硅芯上沉积生长的棒状多晶硅。
替代GB/T 29057-2012...2023-09-18 14:24:01浏览:49
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YS/T 1500-2021 多晶硅制备炉衬用银板材
本文件规定了多晶硅制备炉衬用银板材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于多晶硅制备炉衬用银板材(以下简称银板)。...
2023-03-04 12:32:01浏览:22
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